Input Calibration Points: Zc Zf Zs gap (um) zeropt 1 1. 0.48 275. 6.61 5.427 2 1. 0.48 425. 6.76 5.498 3 1. 0.48 480. 6.81 5.520 4 1. 0.48 575. 6.89 5.557 5 1. 0.48 705. 7.02 5.630 6 2. 0.48 245. 7.55 5.381 7 2. 0.48 310. 7.61 5.404 8 2. 0.48 410. 7.70 5.448 9 2. 0.48 565. 7.85 5.525 --------- Mean Zeropt = 5.48782 Output Look-up Table: Zc Zf Zs gap (um) 1 -5. 0.00 -2048. -0.51 2 -5. 0.00 0. 0.49 3 -5. 0.00 2048. 1.49 4 -5. 5.00 -2048. 0.01 5 -5. 5.00 0. 1.01 6 -5. 5.00 2048. 2.01 7 -5. 10.00 -2048. 0.54 8 -5. 10.00 0. 1.54 9 -5. 10.00 2048. 2.54 10 -4. 0.00 -2048. 0.49 11 -4. 0.00 0. 1.49 12 -4. 0.00 2048. 2.49 13 -4. 5.00 -2048. 1.01 14 -4. 5.00 0. 2.01 15 -4. 5.00 2048. 3.01 16 -4. 10.00 -2048. 1.54 17 -4. 10.00 0. 2.54 18 -4. 10.00 2048. 3.54 19 -3. 0.00 -2048. 1.49 20 -3. 0.00 0. 2.49 21 -3. 0.00 2048. 3.49 22 -3. 5.00 -2048. 2.01 23 -3. 5.00 0. 3.01 24 -3. 5.00 2048. 4.01 25 -3. 10.00 -2048. 2.54 26 -3. 10.00 0. 3.54 27 -3. 10.00 2048. 4.54 28 -2. 0.00 -2048. 2.49 29 -2. 0.00 0. 3.49 30 -2. 0.00 2048. 4.49 31 -2. 5.00 -2048. 3.01 32 -2. 5.00 0. 4.01 33 -2. 5.00 2048. 5.01 34 -2. 10.00 -2048. 3.54 35 -2. 10.00 0. 4.54 36 -2. 10.00 2048. 5.54 37 -1. 0.00 -2048. 3.49 38 -1. 0.00 0. 4.49 39 -1. 0.00 2048. 5.49 40 -1. 5.00 -2048. 4.01 41 -1. 5.00 0. 5.01 42 -1. 5.00 2048. 6.01 43 -1. 10.00 -2048. 4.54 44 -1. 10.00 0. 5.54 45 -1. 10.00 2048. 6.54 46 0. 0.00 -2048. 4.49 47 0. 0.00 0. 5.49 48 0. 0.00 2048. 6.49 49 0. 5.00 -2048. 5.01 50 0. 5.00 0. 6.01 51 0. 5.00 2048. 7.01 52 0. 10.00 -2048. 5.54 53 0. 10.00 0. 6.54 54 0. 10.00 2048. 7.54 55 1. 0.00 -2048. 5.49 56 1. 0.00 0. 6.49 57 1. 0.00 2048. 7.49 58 1. 5.00 -2048. 6.01 59 1. 5.00 0. 7.01 60 1. 5.00 2048. 8.01 61 1. 10.00 -2048. 6.54 62 1. 10.00 0. 7.54 63 1. 10.00 2048. 8.54 64 2. 0.00 -2048. 6.49 65 2. 0.00 0. 7.49 66 2. 0.00 2048. 8.49 67 2. 5.00 -2048. 7.01 68 2. 5.00 0. 8.01 69 2. 5.00 2048. 9.01 70 2. 10.00 -2048. 7.54 71 2. 10.00 0. 8.54 72 2. 10.00 2048. 9.54 73 3. 0.00 -2048. 7.49 74 3. 0.00 0. 8.49 75 3. 0.00 2048. 9.49 76 3. 5.00 -2048. 8.01 77 3. 5.00 0. 9.01 78 3. 5.00 2048. 10.01 79 3. 10.00 -2048. 8.54 80 3. 10.00 0. 9.54 81 3. 10.00 2048. 10.54 82 4. 0.00 -2048. 8.49 83 4. 0.00 0. 9.49 84 4. 0.00 2048. 10.49 85 4. 5.00 -2048. 9.01 86 4. 5.00 0. 10.01 87 4. 5.00 2048. 11.01 88 4. 10.00 -2048. 9.54 89 4. 10.00 0. 10.54 90 4. 10.00 2048. 11.54 91 5. 0.00 -2048. 9.49 92 5. 0.00 0. 10.49 93 5. 0.00 2048. 11.49 94 5. 5.00 -2048. 10.01 95 5. 5.00 0. 11.01 96 5. 5.00 2048. 12.01 97 5. 10.00 -2048. 10.54 98 5. 10.00 0. 11.54 99 5. 10.00 2048. 12.54 Zc Zf Zs gap (um)